Plaques de graphite fendues pour le guidage du débit | Plaques de graphite fendues de haute pureté spécialement conçues pour les équipements sous vide CVD à semi-conducteurs - NHD Carbon

▍ Description du produit

Les plaques de graphite à fentes sont des substrats de graphite personnalisés développés indépendamment par NHD Carbon Industries pour les équipements sous vide de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de semi-conducteurs. Contrairement aux plaques de graphite plates ordinaires, la surface de ces plaques subit un fraisage CNC de précision à cinq axes pour créer des canaux d'écoulement parallèles uniformes, des rainures rapprochées et des chemins d'écoulement trapézoïdaux. Cette conception garantit une dispersion uniforme des gaz de réaction dans la chambre et un transfert de chaleur stable, résolvant les problèmes de l'industrie tels qu'une répartition inégale du flux de gaz et des écarts importants dans l'épaisseur du revêtement des plaquettes, ainsi qu'une oxydation et une usure locales rapides à haute température. Cette plaque de graphite rainurée est fabriquée à partir de matière première de graphite de haute pureté dérivée du coke d'aiguille de Daqing. Il subit plusieurs cycles d'imprégnation sous vide et de purification par graphitisation à haute température à 2 800 °C, ce qui donne une teneur en cendres aussi faible que 0,03 % et ne contient aucune impureté métallique susceptible de contaminer les tranches de silicium. Il est compatible à la fois avec les équipements CVD de laboratoire à petite échelle et avec les lignes de revêtement de semi-conducteurs de production de masse. Toutes les spécifications de rainure, épaisseurs de plaque et profondeurs de canal d'écoulement peuvent être fabriquées sur mesure selon les dessins CAO de l'équipement du client.

Plaque à rainure en V fine

Feuille à rainure plate

Paire de rainures en V profondes

▍ Principales caractéristiques du produit

1. Structure de rainure personnalisée : prend en charge l'usinage de divers modèles de canaux d'écoulement, notamment de larges canaux d'écoulement rectangulaires, des canaux d'écoulement finement dentelés, des rainures trapézoïdales et des rainures segmentées de différentes profondeurs. L'espacement, la profondeur et la largeur des rainures peuvent être ajustés à 100 % pour répondre aux exigences du processus de l'équipement ; fraisées d'une seule pièce, les parois des rainures sont lisses et sans bavures, empêchant la poussière de graphite de contaminer la chambre à vide.

2. Substrat de haute pureté et à faible impureté : du graphite isostatique de très haute pureté est sélectionné. Le processus de purification des matières premières élimine les impuretés métalliques telles que le fer, le silicium et le calcium, garantissant qu'aucune particule n'est libérée dans des conditions de température élevée et éliminant les trous d'épingle et les défauts de décoloration sur les plaquettes et les revêtements optiques.

3. Feuilles monolithiques haute densité : la densité globale des feuilles atteint 1,80 à 1,85 g/cm³, avec une porosité interne extrêmement faible, empêchant efficacement les gaz de traitement corrosifs de pénétrer dans le substrat et prolongeant considérablement la durée de vie des feuilles.

4. Tolérances d'usinage CNC de précision : grâce à notre atelier interne de finition CNC, les tolérances pour les dimensions des panneaux et les tailles de fentes sont contrôlées à ± 0,02 mm. Les panneaux présentent une grande planéité, assurant un ajustement parfait avec la base à l'intérieur du four CVD et assurant une conduction thermique uniforme sans différences de température localisées.

5. Traitement de durcissement anti-oxydation en option : pour des conditions de production à long terme et à haute température, un revêtement d'imprégnation anti-oxydation spécialisé peut être appliqué, ce qui améliore la résistance à l'oxydation de 40 % dans un environnement sous vide à 2 000 °C, réduisant ainsi les temps d'arrêt et les coûts associés aux remplacements fréquents des panneaux.

Vue de dessus des rainures denses

Plaque à rainures inclinées

Gros plan du bord à rainure en V

▍ Avantages clés du produit

1. La distribution uniforme du flux de gaz améliore le rendement du revêtement. Les canaux d'écoulement parallèles sur la surface de la plaque dispersent le gaz de réaction en couches, garantissant une vitesse d'écoulement du gaz constante sur la surface de la plaquette. Cela maintient les écarts d'épaisseur de dépôt de film à ± 2 %, ce qui entraîne une amélioration du rendement de plus de 15 % par rapport aux plaques de graphite plates sans canaux, réduisant ainsi considérablement les coûts de production des clients.

2. La résistance aux hautes températures et aux chocs thermiques garantissent des performances stables dans des conditions de vide. Il résiste à des températures allant jusqu'à 3 000 °C dans un environnement sous vide et ne se fissure pas, ne se déforme pas et ne se déforme pas lors de cycles de température répétés, ce qui le rend adapté aux modes de production intermittents et continus de 24 heures dans les équipements CVD.

3. Haute résistance à la corrosion acide et alcaline ; compatible avec divers gaz de procédé. Résistant à la corrosion causée par l'hydrogène, l'argon, le silane et divers halogénures ; ne s'érodera pas et ne se poudrera pas dans des environnements gazeux corrosifs. Convient à une large gamme de procédés de revêtement, notamment les films de carbure de silicium, de nitrure de gallium et d'oxyde.

4. Fabrication sur mesure complète pour s'adapter à tous les modèles d'équipements. Il n'y a aucune restriction sur la longueur, la largeur, l'épaisseur ou les modèles de fentes des feuilles. Qu'il s'agisse de petits prototypes de laboratoire, de fours à échelle pilote ou d'équipements de dépôt CVD à grande échelle pour la production de masse, nous pouvons fournir des plaques de graphite usinées sur mesure avec des emplacements dédiés, éliminant ainsi le besoin pour les clients de se contenter de pièces standard génériques.

5. Un ensemble complet de rapports d’inspection de qualité d’origine du fabricant garantit une conformité à l’exportation sans souci. Chaque lot de plaques de graphite à fentes est accompagné de rapports d'essais physiques et chimiques tiers, comprenant des données sur la densité, la teneur en cendres, la résistance à la flexion et les coefficients de conductivité électrique et thermique, répondant aux normes d'inspection et d'audit de qualité des chaînes d'approvisionnement des fabricants de semi-conducteurs étrangers.

6. Capacité de production stable ; Nous acceptons les commandes de toutes tailles. Les commandes d'échantillons commencent à une seule pièce, tandis que notre capacité de production mensuelle pour les commandes en gros est de 50 000 unités. Les plaques de graphite rainurées de spécifications standard sont livrées dans un délai de 7 à 10 jours, et les plaques rainurées complexes de forme personnalisée sont traitées dans un délai de 12 à 15 jours ouvrables.

Plaque longue à rainure étroite

Panneau à rainures ultra fines

Plaque épaisse à larges rainures

▍ Spécifications du produit

Voici les spécifications techniques typiques ; la personnalisation est également disponible en fonction des exigences du client.

Spécifications personnalisées pour les tôles et les rainures

1. Dimensions de la feuille : les dimensions maximales usinables sont de 1 200 × 800 mm (longueur × largeur), avec une épaisseur de 3 à 50 mm ;

2. Types de rainures : rainures rectangulaires larges, rainures à dents fines, rainures de guidage d'écoulement trapézoïdales et rainures composites segmentées de différentes profondeurs ;

3. Paramètres de rainure : largeur de rainure 0,5 à 20 mm, profondeur de rainure 1 à 15 mm, espacement des rainures personnalisé selon les besoins ;

4. Formes de panneaux : des panneaux rectangulaires standard, des panneaux aux coins arrondis et des panneaux en graphite avec des découpes et des rainures de forme personnalisée peuvent tous être traités.

▍ Scénarios d'application de produits et leurs avantages

• Système CVD (dépôt chimique en phase vapeur)

Utilisé pour la croissance de couches minces, le dépôt de couches de passivation et le revêtement d'oxyde de silicium/nitrure de silicium

Avantages : Des canaux d'écoulement uniformes équilibrent le flux de gaz, améliorant ainsi le rendement en copeaux. Les substrats de très haute pureté                           empêchent   la contamination des puces.

• Équipement CVD pour le revêtement sous vide de lentilles optiques

Convient au revêtement en couche mince du verre optique, des lentilles et des lentilles infrarouges

Avantages : une conception à rainures fines et peu profondes réduit le risque de rayures sur les lentilles ; le graphite de haute pureté empêche le lessivage des impuretés qui pourraient provoquer une brume sur les lentilles ; La stabilité thermique à haute température garantit une aberration chromatique constante sur tout le revêtement.

• Four CVD sous vide de laboratoire à petite échelle pour la recherche

Conçu spécifiquement pour la R&D sur les nouveaux matériaux et l'expérimentation de couches minces dans les universités et les instituts de recherche

Avantages : Prend en charge la personnalisation pour les petites tailles et les rainures spéciales de forme irrégulière ; permet le prototypage rapide d’échantillons uniques ; permet d'ajuster les niveaux de pureté du graphite pour répondre aux exigences de R&D.

Four tubulaire CVD

CVD de revêtement optique

Réacteur CVD de laboratoire

▍ Emballage et logistique

1. Protection intérieure : Entièrement enveloppé dans du papier bulle individuel, avec un rembourrage en mousse souple dans les zones fendues pour éviter les chocs, les rayures et les dommages aux parois et aux coins des fentes pendant le transport ;

2. Emballage extérieur : Caisse en contreplaqué épaissi avec cloisons fixes internes et revêtement stratifié résistant à l'humidité et à l'eau, adaptée à l'exportation par fret maritime et aérien ;

3. Support logistique : prend en charge le fret maritime en conteneurs complets, le fret aérien en petits colis et l'express international (DHL/FedEx/UPS). Les caisses en bois sont accompagnées de marques d'expédition, de listes de colisage et de rapports d'essais de matériaux pour un dédouanement simplifié ;

4. Avantages de protection : Le graphite est un matériau fragile ; L'emballage de rembourrage personnalisé évite les dommages lors du transport longue distance, réduisant ainsi les pertes de livraison à l'étranger et les coûts après-vente.

▍FAQ​

• Q1 : Par rapport aux plaques de graphite plates standard, quels sont les principaux avantages des plaques de graphite rainurées dans les équipements CVD ?

  A1 :  Les plaques de graphite plates standard peuvent provoquer une accumulation localisée de gaz à l’intérieur du four, entraînant une épaisseur de revêtement inégale sur les tranches de silicium. En revanche, les plaques de graphite à fentes utilisent des canaux de surface pour répartir uniformément les gaz de traitement, garantissant ainsi un revêtement uniforme sur l'ensemble du substrat. De plus, la structure à fentes augmente la zone de dissipation thermique, réduisant ainsi le taux d'oxydation localisée à haute température et prolongeant efficacement la durée de vie.

  
  

• Q2 : Pouvez-vous personnaliser les modèles de rainures en fonction des dessins CAO fournis par les clients ?

  A2 : Absolument. Les clients peuvent fournir des dessins d’équipement, des échantillons ou des paramètres de dimension de rainure : n’importe lequel d’entre eux suffira. Nos ingénieurs techniques prépareront un dessin de confirmation d’usinage et la production ne commencera qu’après vérification. Nous pouvons personnaliser des rainures composites complexes et des plaques de forme irrégulière.

  
  

• Q3 : Cette plaque de graphite rainurée peut-elle subir un traitement anti-oxydation ? L’usure est-elle importante lors d’une production de masse à long terme ?

  A3 : Nous pouvons fournir un traitement spécialisé de revêtement d’imprégnation anti-oxydation à haute température sous vide. Après traitement, la durée de vie de la plaque de graphite à fentes est prolongée de 40 % en fonctionnement continu à 2 000 °C. Comparé au graphite industriel ordinaire sur le marché, notre substrat de haute pureté a une porosité plus faible, ce qui rend plus difficile la pénétration des gaz à l'intérieur, et le cycle de remplacement est doublé dans des conditions normales de production de masse.

  
  

• Q4 : Comment la plaque de graphite à fentes se comporte-t-elle en termes de résistance à la corrosion ? Avec quels gaz de procédé est-il compatible ?

  A4 : Le matériau de base lui-même offre une excellente résistance aux acides, aux alcalis et aux halogénures. Il est compatible avec le silane, l'hydrogène, l'argon, l'azote et diverses sources de phase vapeur organométallique, répondant aux exigences de la grande majorité des environnements de gaz de traitement CVD dans les applications de semi-conducteurs et de revêtement optique.

  
  

• Q5 : Les plaques de graphite fendues sont-elles susceptibles de se briser pendant le transport et comment les articles endommagés sont-ils traités ?

  A5 : Toutes les plaques de graphite fendues sont protégées par un emballage multicouche composé de papier bulle individuel, de boîtes en carton et de caisses en contreplaqué, avec coins et bords renforcés. Si des dommages surviennent pendant l'expédition, fournissez simplement des photos des dommages pour recevoir un remplacement gratuit. Les commandes à l’étranger sont prises en charge par un service après-vente complet.